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压力传感器

85UHP

产品描述

特点

超高真空稳定性(10⁻³ Pa)
长期稳定性 ±0.1%FS/年
绝压测量
13mm膜片
SEMI F105兼容(C276版本)
工作温度 -40°C~125°C

应用

Gas Cabinet
MFC质量流量控制器
高纯气体输送系统
半导体压力与流量控制

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