超高真空稳定性(10⁻³ Pa) 长期稳定性 ±0.1%FS/年 绝压测量 13mm膜片 SEMI F105兼容(C276版本) 工作温度 -40°C~125°C
Gas Cabinet MFC质量流量控制器 高纯气体输送系统 半导体压力与流量控制
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